Wir reduzieren den Energieverbrauch in Ihrer Subfab.

AD GreenMode

Unser System optimiert die Energieeffizienz Ihrer Subfab und verringert damit den CO2-Fußabdruck Ihrer Produktion.

Der Großteil der Energie für die direkte Halbleiterherstellung wird in der Subfab verbraucht. Automatisierung Dresden hat deshalb ein System entwickelt, welches signifikante Energieeinsparungen ermöglicht und somit dazu beiträgt, CO2-Emissionen zu reduzieren.

Verringerung von Kosten durch geringere Energieverbräuche
Volle Ausnutzung von Einsparpotentialen
Nachhaltigere Produktion mithilfe reduzierter Emissionen
Hauptmerkmale

Die Charakteristiken unseres Systems:

Herstellerunabhängig

Wir sind ein herstellerunabhängiger Partner für Ihre individuelle GreenMode Lösung.

  • Unabhängigkeit von Geräteherstellern
  • Keine herstellerabhängige Softwarebindung

Open Source

Wir bieten einen Service und kein proprietäres Produkt.

  • Schneller Nutzen
  • Skalierbarkeit und Integration

Retrofit

AD GreenMode wurde mit dem Fokus auf einer Implementation in Bestandsfabriken konzipiert.

Geringes Risiko

Bei der Entwicklung von AD GreenMode wurde darauf geachtet, zusätzliche Risiken für Prozessintegrität und Ertrag zu vermeiden.

Geräteschnittstellen

Unsere umfangreichen Schnittstellenbibliotheken decken die meisten Abatements und Vakuumpumpen ab. Sie basieren auf unserer über 30-jährigen Subfab-Erfahrung.

IT Integration

Das System kann nahtlos in bestehende IT-Infrastrukturen integriert werden und fungiert als Teil einer hochvernetzten Fab.

Integration

AD GreenMode wurde konzipiert, um sowohl in Bestandsfabriken als auch in Greenfield Fabs implementiert werden zu können.

Unser System lässt sich nahtlos in bereits existierende Fab-Infrastrukturen einfügen. Wir nutzen bestehende Vorrichtungen an Subfab-Geräten, um Energieeinsparungen zu realisieren.

Vakuumpumpen: Nutzung von Vorrichtungen zur Reduktion der Stickstoffsäuberung (N2-Purge) und Pumpengeschwindigkeit
Abatements: Dynamischer Wechsel zwischen verschiedenen Flammenmodi
Funtionsweise

Schöpfen Sie Energiesparpotentiale ihrer Fab voll aus.

In vielen Fabs gab es lange keinen oder nur wenig Informationsaustausch zwischen Tool-Level und Subfab. Dies betrifft sowohl Signale, Schnittstellen als auch andere Arten von Informationen. Mithilfe unseres Systems können Sie derartige Barrieren verringern. AD GreenMode fungiert dabei als Teil einer IT-gestützten Produktion in einer hochvernetzten Fabrik.

Informationen über Tool-Nutzung vom MES via REST API
Echtzeitinformationen über laufende Prozesse in den einzelnen Kammern über Interface A
Überwachung aller Prozessschritte und Initiierung von Energiesparmaßnahmen anhand der Daten
Integration aller existierender Binär- und Interlocksignale sowie zusätzlicher Signale zur Energieeinsparung
Standard-SPS zur Steuerung der Prozesse
Ansible-Server für die Bereitstellung, Konfigurationsmanagement und Applikationseinsatz
Rückführung der Geräte in den Nominalzustand im Fehlerfall
Adaption der Systeme an spezifische Interlocksignale des jeweiligen Tools
Zentrale Administration und Kontrolle