All-in-one SubFab Management zur Prozessüberwachung.

SubFab Monitoring

Wir sind ein herstellerunabhängiger Partner für Ihre individuelle SubFab Monitoring-Lösung.

Unser skalierbares Online SubFab Monitoringsystem bietet zahlreiche Funktionen und Werkzeuge zur Datenerfassung und -analyse aller Geräte im Basement von Halbleiterfabriken.

Vollständige Abdeckung aller Geräteschnittstellen
Vom Equipmenthersteller unabhängiges All-in-one SubFab Management
Keine herstellerspezifische Softwarebindung
SubFab Bereiche

OpenMonitoring - auf Ihre Anforderungen zugeschnitten.

Übertragung prozessnaher Daten in Echtzeit
Verbesserung des Yield Managements durch prozessnahe SubFab Daten
Hoch-performante Schnittstellen zur Dateneinspeisung in FDC Systeme
Einfache und übergreifende Geräteverwaltung
Lückenlose, grafische Übersicht vom Fabrik-Level bis zum einzelnen Gerät
Unkomplizierte Erstellung von Nutzerprofilen
Erfassung des Energieverbrauches mit COO Auswertung
Detailliertes Abatement Tracking / Nachweismöglichkeit der Entsorgungsfunktion
Optionale Steuerungsfunktion zu aktiven Energieeinsparung, auf Basis intelligenter MES und Tool-Anbindung
Operative Service- und Einsatzplanung
Erlaubt Predictive und Preventive Maintenance
Service Reporting
Maximierung der Geräteverfügbarkeit: durch Datenerfassung und planbare Wartung
Datenerfassung orientiert nach Geräten und/ oder Serviceteams als Basis für bestmögliches Service- und Supportmanagement
Umfangreiche Funktionen für CI/CD, Versionierung, automatisierter SW-Rollout und weitere IT-Admin-Werkzeuge
Optionaler Einsatz von bekannten Softwaremonitoring-Produkten
Unterstützt HA Anforderungen
Wieso AD?

Warum AD OpenMonitoring anders ist als proprietäre OEM-Monitoringsysteme?

Unser SubFab Monitoringsystem dient der nahtlosen Verbindung von Device-Gruppen (Pumpen, Abgasreinigungsanlagen, Heizern, Chillern) innerhalb einer einzigen Plattform. Damit gibt es eine Alternative zu den bekannten OEM Monitoring-Insellösungen. Das System bietet einfach zu bedienende und  schnell zu implementierende Werkzeuge. Die Kontrolle und das Management heterogener SubFab Infrastrukturen wird damit stark vereinfacht.

Online SubFab Monitoring über den Webbrowser
Überwachung aller Geräte in der SubFab
Kontinuierliche Datenerfassung: Prozess- und Verbrauchsdaten, Prozesszeiten und -zyklen, Statusinformationen und Alarmdaten
Parametrierbare Grenzwertüberwachung der angeschlossenen Geräte, inklusive dynamischer Adaption an unterschiedliche Betriebsmodi
Intelligentes Benachrichtigungssystem
Zahlreiche Analysefunktionen zur Auswertung der erfassten Daten
Leistungsparameter

Funktionen und Features unseres SubFab Monitoringsystems:

Nahtlose Darstellung von historischen bis zu aktuellen Daten
Nach Nutzeranforderungen konfigurierbare Datenspeicherung (kurz- und langfristig)
Bidirektionale Datenerfassung und -steuerung [Basis für die Realisierung eines aktiven Green Modes]
Schnittstellen zum MES und den Tools